sci
hub

знание — всем!
Если Вам нужна статья, которой нет в базе, то её можно попросить на Скайнете - это новая платформа для обмена статьями:
sci-net.ru
Zhen-Qiu Ning, Dewilde, P. M., & Neerhoff, F. L. (1987). Capacitance coefficients for VLSI multilevel metallization lines. IEEE Transactions on Electron Devices, 34(3), 644–649. doi:10.1109/t-ed.1987.22975 
10.1109/t-ed.1987.22975